TY  - THES
AU  - Pampillón Arce, María Ángela
A3  - San Andrés Serrano, Enrique
PY  - 2017
UR  - https://hdl.handle.net/20.500.14352/21984
AB  - The integrated circuit based on complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) devices is currently the dominant technology in the microelectronic industry. Their success is based on their low static power consumption and their high integration...
AB  - Los circuitos integrados basados en los dispositivos CMOS (complementary metal-oxide-semiconductor) son en la actualidad la tecnología dominante de la industria microelectrónica. Su éxito se basa en su bajo consumo de potencia estática y en su alta...
LA  - eng
PB  - Universidad Complutense de Madrid
KW  - Electronics
KW  - Electrónica
TI  - Growth of high permittivity dielectrics by high pressure sputtering from metallic targets
T2  - Crecimiento de dieléctricos de alta permitividad mediante pulverización catódica de alta presión a partir de blancos metálicos
M3  - doctoral thesis
ER  -