RT Journal Article
T1 Measurement of the vibration state of an array of micro cantilevers by diffractional methods
A1 Cuadrado Conde, Alexander
A1 Agustí, Jordi
A1 López Suárez, M.
A1 Murillo Rodríguez, Gonzalo
A1 Abadal, G.
A1 Alda, Javier
AB The amplitude of vibration of an array of micro‐cantilevers piezoelectrically excited has been measured by analyzing the diffraction pattern given by the structure. A model for the simulation of this situation, and some out‐of‐plane interferometric measurements based on diffraction pattern, have been developed and performed to fully understand the dynamic of the elements and the diffraction pattern produced by them.
AB En esta contribución, se analiza la amplitud de vibración de un array de micro‐voladizos excitados a través de un piezoeléctrico. El objeto de análisis son las distribuciones de irradiancia generadas por la estructura. Se ha desarrollado un modelo que explica los cambios producidos en las figuras de y se han realizado medidas de la figura de difracción producida. Esto permite un mejor conocimiento de la dinámica del dispositivo y la generación de la figura de difracción.
PB Sociedad Española de Óptica
SN 0030-3917
YR 2012
FD 2012-06
LK https://hdl.handle.net/20.500.14352/43136
UL https://hdl.handle.net/20.500.14352/43136
LA eng
NO Recibido: 16/09/2011. Revisado: 14/12/2011. Aceptado: 16/12/2011.
NO Ministerio de Ciencia e Innovación (MICINN)
DS Docta Complutense
RD 27 abr 2024