TY  - JOUR
AU  - Cuadrado Conde, Alexander
AU  - Agustí, Jordi
AU  - López Suárez, M.
AU  - Murillo Rodríguez, Gonzalo
AU  - Abadal, G.
AU  - Alda, Javier
PY  - 2012
SN  - 0030-3917
UR  - https://hdl.handle.net/20.500.14352/43136
T2  - Óptica Pura y Aplicada
AB  - The amplitude of vibration of an array of micro‐cantilevers piezoelectrically excited has been measured by analyzing the diffraction pattern given by the structure. A model for the simulation of this situation, and some out‐of‐plane interferometric...
AB  - En esta contribución, se analiza la amplitud de vibración de un array de micro‐voladizos excitados a través de un piezoeléctrico. El objeto de análisis son las distribuciones de irradiancia generadas por la estructura. Se ha desarrollado un modelo que...
LA  - eng
M2  - 105
PB  - Sociedad Española de Óptica
KW  - Diffraction
KW  - Micro‐Electro‐Mechanical Systems
TI  - Measurement of the vibration state of an array of micro cantilevers by diffractional methods
TY  - journal article
VL  - 45
ER  -