TY  - THES
AU  - Muñoz Piña, Sandra
A3  - Alcalá Penadés, Germlán
A3  - Álvarez Molina, Rafael
A3  - Palmero Acebedo, Alberto
PY  - 2023
UR  - https://hdl.handle.net/20.500.14352/4245
AB  - En esta Tesis Doctoral Industrial se estudia la problemática del diseño de un sistema de deposición de pulverización catódica en geometría de ángulo oblicuo en escalas y condiciones industriales para operar sobre superficies rugosas de grado...
AB  - This industrial PhD Thesis aims at studying the problems associated with the design of a magnetron sputtering reactor to operate at oblique angle geometries over large industrial rough substrates. This technique, in its classical non-oblique...
LA  - spa
PB  - Universidad Complutense de Madrid
KW  - Química industrial
KW  - Chemistry
KW  - Technical
TI  - Recubrimientos nanocolumnares estructurados sobre sustratos rugosos y litografiados en condiciones industriales
M3  - doctoral thesis
ER  -