TY  - THES
AU  - García Sánchez, Silvia
A3  - Martil de la Plaza, Ignacio
A3  - González Díaz, Germán
PY  - 2002
SN  - 978-84-669-0872-6
UR  - https://hdl.handle.net/20.500.14352/62880
AB  - La memoria presentada constituye un estudio en profundidad de la técnica electron-cyclotron resonance de deposito de laminas delgadas de los aislantes sinx: h y siox. Se han analizado los principales parámetros de producción que afectan a las...
LA  - spa
PB  - Universidad Complutense de Madrid, Servicio de Publicaciones
KW  - Electrónica
TI  - Láminas delgadas de SiNx:H y SiOx depositadas mediante la técnica ECR-CVD para su aplicación en estructura MIS
M3  - doctoral thesis
ER  -