TY  - THES
AU  - Saez Landete, José
A3  - Bernabeu Martínez, Eusebio
A3  - Alonso, José
PY  - 2007
DO  - b23760904
SN  - 978-84-669-2927-1
UR  - https://hdl.handle.net/20.500.14352/56282
AB  - El estudio de la generación y detección de señales de referencia es fundamental para el posicionado absoluto en codificadores ópticos y en alineadores de máscaras en fotolitografía. En la memoria de Tesis Doctoral se presenta un análisis de la...
LA  - spa
PB  - Universidad Complutense de Madrid, Servicio de Publicaciones
KW  - Óptica
TI  - Generación de señales ópticas de referencia para posicionamiento absoluto de alta resolución
M3  - doctoral thesis
ER  -