TY - THES AU - Pampillón Arce, María Ángela A3 - San Andrés Serrano, Enrique PY - 2010 UR - https://hdl.handle.net/20.500.14352/46700 LA - spa KW - Dieléctricos de Alta-k KW - Dispositivos MOS KW - MOSFETs KW - Óxido de Gadolinio KW - High-k Dielectrics KW - MOS Devices KW - Gadolinium Oxide TI - Estudio de tecnologías de oxidación de láminas delgadas de gadolinio metálico para su aplicación como aislante de puerta en MOSFETs M3 - master thesis ER -