RT Dissertation/Thesis
T1 Estudio de la estabilidad térmica del a-SiNx:H producido mediante la técnica de plasma ECR-CVD
A1 Martínez Viviente, Félix Lorenzo
PB Universidad Complutense de Madrid
YR 2024
FD 2024-02-22
LK https://hdl.handle.net/20.500.14352/101672
UL https://hdl.handle.net/20.500.14352/101672
LA spa
NO Martínez Viviente, Félix Lorenzo. Estudio de la estabilidad térmica del a-SiNx:H producido mediante la técnica de plasma ECR-CVD. febrero de 2024. docta.ucm.es, https://hdl.handle.net/20.500.14352/101672.
NO Tesis inédita de la Universidad Complutense de Madrid, Facultad de Ciencias Físicas, Departamento de Física Aplicada III, leída el 05-05-2000
DS Docta Complutense
RD 5 abr 2025