TY  - THES
AU  - Martínez Viviente, Félix Lorenzo
A3  - Martil De La Plaza, Ignacio
PY  - 2024
UR  - https://hdl.handle.net/20.500.14352/101672
LA  - spa
PB  - Universidad Complutense de Madrid
KW  - Nitruros
TI  - Estudio de la estabilidad térmica del a-SiNx:H producido mediante la técnica de plasma ECR-CVD
M3  - doctoral thesis
ER  -