TY  - JOUR
AU  - Martil De La Plaza, Ignacio
AU  - San Andrés Serrano, Enrique
PY  - 2004
SN  - 0366-3175
UR  - https://hdl.handle.net/20.500.14352/51123
T2  - Boletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio
AB  - En este trabajo se ha caracterizado el proceso de hidrogenación en un plasma generado por resonancia ciclotrónica de electrones de capas de SiGe policristalino obtenidas mediante cristalización en fase sólida y el efecto de la hidrogenación en las...
AB  - The hydrogenation of polycrystalline SiGe layers, obtained by solid phase crystallization, by an electron ciclotron resonance hydrogen plasma and the influence of this hydrogenation process on the electrical characteristics of thin film transistors...
LA  - spa
M2  - 386
PB  - Sociedad Española de Cerámica y Vidrio
KW  - SiGe Policristalino
KW  - Hidrogenación
KW  - Plasma ECR
KW  - Transistor de Película Delgada
KW  - Degradación.
KW  - Amorphous-Silicon. Germanium.
TI  - Capas de SiGe policristalino hidrogenado y su aplicación en transistores de película delgada
T2  - Hydrogenated polycrystalline SiGe films and their application in Thin Film Transistors
TY  - journal article
VL  - 43
ER  -