TY  - THES
AU  - Caudevilla Gutiérrez, Daniel
A3  - González Díaz, Germán
A3  - Pastor Pastor, David
PY  - 2018
UR  - https://hdl.handle.net/20.500.14352/14233
AB  - We will present in this work the design and assembling of a radiofrequency multicathode sputtering system. The system is water refrigerated and its vacuum system is able to reach vacuum in the range 10‾ ⁷ mbar. It is designed for deposition and growth...
AB  - En este trabajo se detalla el diseno, fabricación y montaje de un sistema de pulverización multicátodo por radiofrecuencia. El sistema está refrigerado por agua y alcanza vacíos del orden de 10‾⁷ mbar. El sistema esta diseñado para depositar y crecer...
LA  - eng
KW  - Multicathod radiofrequency sputtering syste
KW  - Multicathode
KW  - Contact perfilometry measurements
KW  - Photolythography and ohmic contacts on silicon.
KW  - Sistema de pulverización multicátodo por radiofrecuencia
KW  - Medidas por perfilometría de contacto
KW  - Fotolitografía y contactos ohmicos sobre silicio.
TI  - Montaje y calibración de un sistema de pulverización multicátodo
M3  - master thesis
ER  -