Martil De La Plaza, IgnacioMartínez Viviente, Félix Lorenzo2024-02-222024-02-222024-02-22Martínez Viviente, Félix Lorenzo. Estudio de la estabilidad térmica del a-SiNx:H producido mediante la técnica de plasma ECR-CVD. febrero de 2024. docta.ucm.es, https://hdl.handle.net/20.500.14352/101672.https://hdl.handle.net/20.500.14352/101672Tesis inédita de la Universidad Complutense de Madrid, Facultad de Ciencias Físicas, Departamento de Física Aplicada III, leída el 05-05-2000spadoctoral thesisopen access549.2(043.2)NitrurosFísica (Física)2207.03 Física Atómica