Estudio de la estabilidad térmica del a-SiNx:H producido mediante la técnica de plasma ECR-CVD
| dc.contributor.advisor | Martil De La Plaza, Ignacio | |
| dc.contributor.author | Martínez Viviente, Félix Lorenzo | |
| dc.date.accessioned | 2024-02-22T13:32:33Z | |
| dc.date.available | 2024-02-22T13:32:33Z | |
| dc.date.defense | 2000-05-05 | |
| dc.date.issued | 2024-02-22 | |
| dc.description | Tesis inédita de la Universidad Complutense de Madrid, Facultad de Ciencias Físicas, Departamento de Física Aplicada III, leída el 05-05-2000 | |
| dc.description.faculty | Fac. de Ciencias Físicas | |
| dc.description.refereed | TRUE | |
| dc.description.status | unpub | |
| dc.identifier.citation | Martínez Viviente, Félix Lorenzo. Estudio de la estabilidad térmica del a-SiNx:H producido mediante la técnica de plasma ECR-CVD. febrero de 2024. docta.ucm.es, https://hdl.handle.net/20.500.14352/101672. | |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/20.500.14352/101672 | |
| dc.language.iso | spa | |
| dc.page.total | 257 | |
| dc.publication.place | Madrid | |
| dc.publisher | Universidad Complutense de Madrid | |
| dc.rights.accessRights | open access | |
| dc.subject.cdu | 549.2(043.2) | |
| dc.subject.keyword | Nitruros | |
| dc.subject.ucm | Física (Física) | |
| dc.subject.unesco | 2207.03 Física Atómica | |
| dc.title | Estudio de la estabilidad térmica del a-SiNx:H producido mediante la técnica de plasma ECR-CVD | |
| dc.type | doctoral thesis | |
| dspace.entity.type | Publication | |
| relation.isAdvisorOfPublication | 6db57595-2258-46f1-9cff-ed8287511c84 | |
| relation.isAdvisorOfPublication.latestForDiscovery | 6db57595-2258-46f1-9cff-ed8287511c84 |
Download
Original bundle
1 - 1 of 1
