Estudio de la estabilidad térmica del a-SiNx:H producido mediante la técnica de plasma ECR-CVD
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Publication date
2024
Defense date
05/05/2000
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Universidad Complutense de Madrid
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Citation
Martínez Viviente, Félix Lorenzo. Estudio de la estabilidad térmica del a-SiNx:H producido mediante la técnica de plasma ECR-CVD. febrero de 2024. docta.ucm.es, https://hdl.handle.net/20.500.14352/101672.
Abstract
Description
Tesis inédita de la Universidad Complutense de Madrid, Facultad de Ciencias Físicas, Departamento de Física Aplicada III, leída el 05-05-2000